MEMS器件最常见的四大分类@@

MEMS器件体积小@@,重量轻@@,耗能低@@,惯性小@@,谐振@@频@@率高@@,响应时间短@@。MEMS系统与一般的机械系统相比@@,不仅体积缩小@@,而且在@@力学@@原理和运动学@@原理@@,材料特性@@、加工@@、测量和控制等方面都将发生@@变化@@。在@@MEMS系统中@@,所有的几何变形是如此之小@@(分子级@@),以至于结构内应力与应变之间的线性关系@@(虎克定律@@)已不存在@@@@。MEMS器件中摩擦表面的摩擦力主要是由于表面之间的分子相互作用力引起的@@,而不是由于载荷压力@@引起@@。

MEMS器件以硅为主要材料@@。硅的强度@@、硬度和杨氏模量与铁相当@@。密度类似于铝@@,热传@@导率接近铜和钨@@,因此@@MEMS器件机械电气性能优良@@。它集中了当今科学@@技术@@发展的许多尖端成果@@。通过微型化@@、集成化@@可以探索新原理@@、新功能的@@188足彩外围@@app 和系统@@,将开辟一个新技术@@领域@@。

传@@ 感@@
传@@感@@@@MEMS技术@@是指用微电子@@微机械@@加工@@出来的@@、用敏感@@@@188足彩外围@@app 如电容@@、压电@@、压阻@@、热电耦@@、谐振@@、隧道电流等来感@@受转换电信号的器件和系统@@@@。它包括速度@@、压力@@、湿度@@、加速度@@、气体@@、磁@@、光@@、声@@、生@@物@@@@、化学@@等各种传@@感@@@@器@@。

按种类分主要有@@:面阵触觉传@@感@@@@器@@、谐振@@力敏感@@传@@感@@@@器@@、微型加速度@@传@@感@@@@器@@@@、真空微电子@@传@@感@@@@器等@@。传@@感@@@@器的发展方向是阵列化@@、集成化@@、智能化@@。由于传@@感@@@@器是人类探索自然界的触角@@,是各种自动化装置的神经元@@,且应用领域广泛@@,未来将备@@受世界各国的重视@@。

生@@ 物@@
生@@物@@@@MEMS技术@@是用@@MEMS技术@@制造的化学@@@@/生@@物@@@@微型分析和检测芯片或@@仪器@@,有一种在@@衬底上制造出的微型驱动泵@@、微控制阀@@、通道网@@络@@、样品处理器@@、混合@@池@@、计量@@、增扩@@器@@、反应@@器@@、分离@@器以及检测器等元器件并集成为多功能芯片@@。可以实现样品的进样@@、稀释@@、加试剂@@、混合@@、增扩@@、反应@@、分离@@、检测和后处理等分析全过程@@。它把传@@统的分析实验室功能微缩在@@一个芯片上@@。

生@@物@@@@MEMS系统具有微型化@@、集成化@@、智能化@@、成本低@@的特点@@。功能上有获取信息量大@@、分析效率高@@、系统与外部连接少@@、实时通信@@、连续检测的特点@@。国际上生@@物@@@@@@MEMS的研究已成为热点@@,不久将为生@@物@@@@@@、化学@@分析系统带来一场重大的革新@@。

光@@ 学@@
随着信息技术@@@@、光@@通信技术@@的迅猛发展@@,MEMS发展的又一领域是与光@@学@@相结合@@,即综合微电子@@@@、微机械@@、光@@电子@@技术@@等@@基础技术@@@@,开发新型光@@器件@@,称为微光@@机电系统@@(MOEMS)。它能把各种@@MEMS结构件与微光@@学@@器件@@、光@@波导器件@@、半导体激光@@器件@@、光@@电检测器件等完整地集成在@@一起@@。形成一种全新的功能系统@@。MOEMS具有体积小@@、成本低@@、可批量生@@产@@、可精确驱动和控制等特点@@。

较成功的应用科学@@研究主要集中在@@两个方面@@:一是基于@@MOEMS的新型显示@@、投影设备@@@@,主要研究如何通过反射@@面的物@@理运动来进行光@@的空间@@调制@@,典型代表为数字微镜阵列芯片和光@@栅光@@阀@@;二是通信系统@@,主要研究通过微镜的物@@理运动来控制光@@路发生@@预期的改变@@,较成功的有光@@开关调制器@@、光@@滤波器及复用器等光@@通信器件@@。

MOEMS是综合性和学@@科交叉性很强的高新技术@@@@,开展这个领域的科学@@技术@@研究@@,可以带动大量的新概念的功能器件开发@@。

射@@ 频@@
射@@频@@@@MEMS技术@@传@@统上分为固定的@@和可动的@@两类@@。固定的@@MEMS器件包括本体微机械@@加工@@传@@输线@@、滤波器和@@耦合器@@,可动的@@MEMS器件包括开关@@、调谐器和可变电容@@。按技术@@层@@面又分为由微机械@@开关@@、可变电容器和电感@@谐振@@器组成的基本器件层@@面@@;由移相器@@、滤波器和@@VCO等组成的组件层@@面@@;由单片接收机@@、变波束雷达@@、相控阵雷达天线组成的应用系统层@@面@@。

MEMS介绍@@
随着时间的推移和技术@@的逐步发展@@,MEMS所包含的内容正在@@不断增加@@,并变得更加丰富@@。世界著名信息技术@@期刊@@《IEEE论文集@@》在@@1998年的@@MEMS专辑中将@@MEMS的内容归纳为@@:集成传@@感@@@@器@@、微执行器@@和微系统@@。人们还把微机械@@@@、微结构@@、灵巧传@@感@@@@器和智能传@@感@@@@器归入@@MEMS范畴@@。

制作@@MEMS的技术@@包括微电子@@技术@@和微加工@@技术@@两大部分@@。微电子@@技术@@的主要内容有@@:氧化层@@生@@长@@@@、光@@刻掩膜制作@@@@、光@@刻选择掺杂@@(屏蔽扩散@@、离子注入@@)、薄膜@@(层@@)生@@长@@、连线制作@@等@@。微加工@@技术@@的主要内容有@@:硅表面微加工@@和硅体微加工@@@@(各向异性腐蚀@@、牺牲层@@@@)技术@@、晶片键合技术@@@@、制作@@高深宽比结构的@@LIGA技术@@等@@。

利用@@微电子@@技术@@可制造集成电路和许多传@@感@@@@器@@。微加工@@技术@@很适合于制作@@某些压力@@传@@感@@@@器@@、加速度@@传@@感@@@@器@@、微泵@@、微阀@@、微沟槽@@、微反应@@室@@、微执行器@@、微机械@@等@@,这就能充分发挥微电子@@技术@@的优势@@,利用@@MEMS技术@@大批量@@、低成本地制造高可靠性的微小卫星@@。

MEMS技术@@是一个新兴技术@@领域@@,主要属于微米技术@@范畴@@@@。MEMS技术@@的发展已经历了@@10多年时间@@,大都基于现有技术@@@@,用由大到小的技术@@途径制作@@出来的@@,发展了一批新的集成器件@@,大大提高@@了器件的功能和效率@@,已显示出了巨大的生@@命力@@。MEMS技术@@的发展有可能会像微电子@@一样@@,对科学@@技术@@和人类生@@活产生@@革命性的影响@@,尤其对微小卫星的发展影响更加深远@@,必将为大批量生@@产低成本高可靠性的微小卫星打开大门@@。