作者@@：麦姆斯咨询@@ CEO 王懿@@
受到多种@@MEMS产品的应用驱动@@，如压力传感器@@（例如@@胎压监测系统@@）、射频器件@@@@（例如@@5G通信@@和@@车联网@@@@）、惯性传感器@@（例如@@高级驾驶辅助系统和@@自动驾驶汽车@@）和@@新兴@@MEMS器件@@（例如@@用于指纹识别的压电@@@@MEMS超声波换能器@@）等@@，预计@@MEMS市场将在@@@@2019年@@至@@2024年@@期间实现显著增长@@。
MEMS集中了当今科学技术@@发展的许多尖端成果@@，涉及物理学@@、半导体@@、光学@@、化学@@、电子@@工程@@、材料工程@@、机械工程及生物工程等@@多种学科和@@工程技术@@@@。相比传统的结构型传感器@@，MEMS传感器具有体积小@@、重量轻@@、功耗低@@、价格低@@、集成度高@@、可批量制造等@@优点@@。此外@@，MEMS传感器还可以@@与处理单元集成@@，例如@@采用系统级封装@@（SiP）或@@片上系统@@（SoC）形式@@，因此@@MEMS成为智能传感器的重要载体@@。
尽管@@IDM至今仍主导@@MEMS产业走向@@，但是代工模式也有其优点@@：不仅可以@@让无晶圆厂@@（Fabless）MEMS设计公司节省兴建晶圆厂的巨额成本@@，以@@投资更多人力专注于传感器产品设计@@，还可以@@加速消费类@@MEMS应用的发展@@。
以@@MEMS惯性传感器@@为例@@，与应用相关的精度指标主要有三方面@@：噪声@@（Noise），如振动抑制@@、1/f噪声@@、高频噪声@@等@@@@；稳定性@@（Stability），如长期稳定性@@@@、温度稳定性@@和@@重复稳定性@@等@@@@；偏差@@（Tolerance），如零偏@@、灵敏度@@、非线性@@、轴间串扰等@@@@。
展望未来@@10年@@，5G、物联网@@@@、人工智能@@、自动驾驶汽车将成为@@MEMS市场的主要驱动因素@@。不同应用对@@MEMS传感器的需求各异@@，以@@MEMS加速度计为例@@，在个人消费电子@@领域@@，功耗最重要@@，其次是精度和@@成本@@；在汽车领域@@，可靠性最重要@@，其次是精度和@@寿命@@；在工业领域@@，寿命最重要@@，其次是可靠性和@@精度@@。
受到多种@@MEMS产品的应用驱动@@，如压力传感器@@（例如@@胎压监测系统@@）、射频器件@@@@（例如@@5G通信@@和@@车联网@@@@）、惯性传感器@@（例如@@高级驾驶辅助系统和@@自动驾驶汽车@@）和@@新兴@@MEMS器件@@（例如@@用于指纹识别的压电@@@@MEMS超声波换能器@@）等@@，预计@@MEMS市场将在@@@@2019年@@至@@2024年@@期间实现显著增长@@：市场营收的复合年@@增长率约为@@8.3%，出货量的复合年@@增长率约为@@11.9%。
此外@@，新材料@@（如压电@@材料@@）和@@新工艺@@（如压电@@薄膜沉积@@）的发展为@@MEMS应用领域开疆辟土@@。实际上@@，压电@@和@@@@MEMS技术@@的融合发展正在为全球@@MEMS产业带来一场革命@@。压电@@MEMS技术@@越来越多地应用于射频滤波器@@@@、MEMS时钟@@、MEMS陀螺仪@@、喷墨打印头@@、MEMS扬声器和@@麦克风@@、MEMS微镜@@、自动对焦执行器@@、能量收集器@@，以@@及超声波换能器@@和@@指纹识别传感器等@@产品@@。
随着先进材料和@@半导体@@技术@@不断发展@@，电子@@器件@@正朝着小型化@@、智能化和@@高集成化道路发展@@，面对智能手机等@@消费类产品的海量需求@@，市场对压电@@薄膜型器件@@的需求日益增加@@，越来越多的电子@@器件@@采用的压电@@材料开始从块体型转向薄膜型@@。因此@@，压电@@薄膜沉积技术@@在@@MEMS产业中变得越来越重要@@。目前应用最广泛的压电@@薄膜材料是氮化铝@@（AlN）和@@锆钛酸铅@@（PZT）。
在市场需求和@@压电@@材料制备@@水平提高@@的双重因素影响下@@，压电@@MEMS和@@传感器正迎来黄金时代@@，将在@@5G通信@@、智能语音@@、消费类可穿戴设备@@@@、指纹识别和@@医疗等@@设备@@中拥有广阔的应用前景@@。在整个压电@@器件@@市场中@@，射频滤波器@@受益于@@5G通信@@而快速发展@@，包括@@SAW和@@BAW滤波器@@。智能语音@@交互市场引爆了麦克风海量需求@@，新型压电@@@@MEMS麦克风凭借高信噪比优势@@，有望打破传统的电容式麦克风垄断地位@@，同样压电@@@@MEMS扬声器也蓄势待发@@。在全屏手机需求背景下@@，压电@@超声波指纹识别的高安全性和@@良好的抗污特性@@，更切合物联网@@@@安全可靠的发展趋势@@，因而备@@受关注@@。
MEMS传感器正在将人类的体验数字化@@，并推动真实世界和@@虚拟世界的紧密结合@@，为全球各地的用户提供全新的体验@@。MEMS传感器与人工智能@@的结合将催生边缘计算新时代@@：在边缘设备@@中将多种传感器融合@@，再结合人工智能@@技术@@@@，可以@@为视@@、听@@、嗅@@、运动等@@多种物理量的感测开辟新应用@@。同时@@，压电@@MEMS技术@@也将为蓬勃的@@MEMS市场再注一剂强心针@@。
来源@@：麦姆斯咨询@@