MEMS扫描镜也称为@@MEMS微镜@@，是将微光反射镜与@@MEMS驱动器集成在一起制造而成的光学@@MEMS器件@@。MEMS扫描镜通过镀膜镜面的共振偏转实现激光光束的高速动态扫描@@，其通过半导体工艺加工制成@@，具有扫描效率高@@、体积小@@、重量轻@@、批量化@@、使用寿命长@@、功耗低@@、成本低@@等优点@@，在激光雷达@@、机器视觉@@、微型投影@@、生物医疗等应用具有广泛的需求@@，是激光应用必不可少的关键激光元器件@@@@。
根据扫描轴的数量@@，MEMS扫描镜可以分为单轴和@@双轴两种@@。单轴扫描镜具有结构@@、工艺简单@@、成本低@@、扫描角度大等优势@@；双轴扫描镜单芯片则可实现二维扫描@@，最能体现@@MEMS技术@@的优势@@，但其技术@@难度高@@。
敏芯股份@@作为国内屈指可数掌握多品类@@MEMS芯片设计和@@制造工艺能力企业@@，可提供高端定制化的@@MEMS扫描镜芯片@@，包含一维和@@二维扫描镜@@，扫描镜的镜面尺寸覆盖@@1mm至@@4mm, 镜面镀金@@。
通过半导体工艺加工制造@@，首先通过@@EPI和@@CMP工艺形成绝缘槽@@，实现电极的隔离@@，后通过@@DRIE工艺形成梳齿结构的驱动部件@@，通过静电驱动原理来驱动中心镜面进行扭转振动@@。
同时@@，敏芯股份@@提供@@MEMS扫描镜的驱动和@@控制电路@@，可减少开发者的开发难度@@，加快开发进程@@。
联系敏芯股份@@@@
申请样片或@@订购可拨打@@：0512-62386109 / 0512-62386877或@@邮件至@@@@：info@memsensing.com。
本文转载自@@：MEMS微信公众号@@