1 浅谈因电迁移@@引发的@@半导体@@失效@@ | 电子@@创新@@188足彩外围@@app 网@@ - 188足彩网

浅谈因电迁移@@引发的@@半导体@@失效@@

作者@@:Wolfe Yu

前言@@

半导体@@产品老化是一个自然现象@@,在@@电子@@应用中@@,基于@@环境@@、自然等因素@@,半导体@@在@@经过一段时间连续工作之后@@,其功能会逐渐丧失@@,这被称为功能失效@@。半导体@@功能失效主要包括@@:腐蚀@@、载流子注入@@、电迁移@@等@@。其中@@,电迁移@@引发的@@失效机理@@最为突出@@。技术@@型授权代理商@@Excelpoint世健@@的@@工程师@@Wolfe Yu在@@此对这一现象进行了分析@@。

背景@@

从@@20世纪初期第一个电子@@管诞生以来@@,电子@@产品与@@人类的@@联系越来越紧密@@,特别是进入@@21世纪以来@@,随着集成电路的@@飞速发展@@,人们对电子@@产品的@@需求也变得愈加丰富@@。随着电子@@产品的@@普及@@,电子@@产品失效率越来越高@@,质量变差@@,新产品不耐用@@。

由于产品失效率的@@提高@@@@,许多学者参与@@到半导体@@失效分析的@@研究中@@。经过大量研究分析和@@仿真@@,学者总结出@@:由于电流的@@作用@@,导致导线中的@@金属原子与@@电子@@通过摩擦产生电迁移@@位移现象所引发的@@失效是电子@@产品失效模式的@@主要因素之一@@。电迁移@@满足失效分布函数曲线@@,产品失效模式与@@产品工艺@@、工作温度关系密切@@。

相关理论@@

电迁移@@现象主要发生在@@半导体@@在@@通电状态下@@,由于电场作用@@,原子在@@与@@电子@@流的@@带动下@@,由于摩擦@@,产生移位@@现象@@,这一现象被称为电迁移@@@@。

图@@ 1. 电迁移@@作用力引发半导体@@失效原理@@

如图@@所示@@,在@@电场作用下@@,半导体@@在@@导通过程中@@,正电荷会同时受到静电场力和@@电子@@高速运动冲击所产生的@@风力作用@@。

由于电流密度@@增大@@,电子@@产生的@@风力会大于静电场力@@,从@@而导致正电荷@@——也就是金属原子@@,产生移位@@,这一现象称为电迁移@@效应或@@电迁移@@现象@@。经过长期积累@@,半导体@@的@@部分连接就会形成不连贯的@@晶须@@(Hillock)或@@空洞@@(Void),最终导致半导体@@元器件失效@@。

图@@ 2.电迁移@@作用失效示意图@@@@

James R.Black最早在@@@@1967年提出基于@@电迁移@@引起平均失效时间@@(MTTF)的@@数据拟合经验模型@@,为失效分析具有里程碑的@@意义@@。

按照@@Black模型公式@@:

半导体@@元器件的@@失效机理@@与@@材料@@、电子@@碰撞间隔平均自由时间@@、有效散射横截面积的@@因素常量@@A,电流密度@@j,绝对温度@@T等因素相关@@。Blench和@@Korhonen等人进一步对电迁移@@物理模型进行完善@@。半导体@@元器件的@@失效机理@@单元模型寿命可靠度函数符合欧拉公式@@。

根据@@以上公式@@,电流密度@@越大@@,半导体@@元器件的@@响应速度就快@@,188足彩外围@@app 寿命就会越短@@,反之@@,188足彩外围@@app 的@@寿命就会增长@@。要满足半导体@@元器件的@@响应速度@@,则半导体@@就需要较高的@@参杂度@@,另一方面@@,通过掺杂不同的@@材料@@、调整有效散射横截面积等因素也会对芯片的@@寿命产生影响@@。

常规解决方案@@

报废机制@@

企业通常利用产品生命周期管理方式@@,通过对产品生命周期进行分析@@,为产品设计一个报废界定时间@@。在@@汽车@@、水电气表等行业采用这种方式比较常见@@。

系统冗余@@

在@@保障性系统设计中@@,企业一般在@@报废机制@@的@@基础之上@@,还会通过采用双备@@份冗余设计@@、或@@者@@K/N表决冗余@@,并加上系统修复的@@方式进行系统设计@@。

技术@@源头控制@@

工艺控制理论@@

根据@@Black模型理论@@,当半导体@@采用宽线径工艺@@,横截面积较大时@@,其芯片寿命会变长@@,产品平均失效时间@@MTTF会相对拉得更长@@。这也从@@侧面解释了为什么传统工艺设计出来的@@产品可靠性更高@@。

差异化技术@@控制方法@@

在@@芯片原理设计中@@,采用不同的@@拓扑架构@@模型@@,通过差异化技术@@实现不同的@@控制方法也很常见@@,比如采用@@CMOS基本单元@@替代@@TTL基本单元@@、采用恒流源替代恒压源来完成不同的@@产品拓扑模型@@。在@@ADC、DAC、运算放大器@@、比较器等模型设计中十分常见@@。

在@@一些设计场合@@,通过调整芯片输入阈值@@,降低芯片灵敏度@@,或@@通过控制芯片切换频率@@,降低电流密度@@@@,达到提高@@产品可靠性的@@目的@@@@。

在@@核心处理芯片模型设计中@@,根据@@不同的@@应用场景@@,为了追求产品处理速度和@@可靠性@@,通常会采用不同的@@工艺模型进行芯片架构@@设计@@,比如从@@@@CMOS衍生出来的@@@@SRAM、DRAM、ROM、EEPROM、Flash等工艺用于不同的@@处理器@@产品架构@@中@@,会达到出不同的@@可靠性效果@@。

图@@ 3.不同工艺模型芯片单元架构@@@@

ROM工艺的@@@@处理器@@是一种非常古老的@@工艺产品@@,只能烧录一次@@,虽然在@@某些应用场景还依然被大量使用@@。但在@@目前主流的@@产品方案应用中@@,基于@@SRAM和@@Flash工艺的@@@@MCU、MPU或@@FPGA处理器@@占据了绝大多数应用场景@@。

Microchip高可靠性@@Flash FPGA介绍@@

SRAM工艺的@@@@处理器@@是通过@@CMOS内部管道切换的@@方式工作@@,其产品处理速度较高@@,被众多用户接受@@。但是@@,CMOS工艺有一个致命缺陷@@,由于工艺原因@@,伴随@@CMOS工艺制成芯片产生米勒效应极其容易受到外界干扰@@,产生翻转@@。另外@@,CMOS在@@翻转过程中@@,内阻变小@@,电流密度@@过大@@,芯片长期在@@高电流密度@@下工作@@,会加速产品老化时间@@。

除了基于@@传统@@CMOS的@@SRAM处理器@@之外@@,Microchip推出了一种基于@@叠栅@@MOS工艺的@@@@Flash架构@@FPGA处理器@@。

图@@4.Flash架构@@FPGA与@@SRAM架构@@FPGA的@@差别@@

Microchip的@@FPGA 产品范围覆盖从@@低端到中端应用@@,其产品特点以抗单粒子翻转@@、安全@@、低功耗@@和@@上电即工作著称@@,广泛应用于通信@@、国防和@@航空@@、工业嵌入式产品@@。Microchip 目前主推三大系列@@@@ FPGA:

• 支持@@5K-150K LE(Logic Elements)具有大量资源的@@低密度器件的@@@@IGLOO®2 系列@@;

• 支持@@5K-150K LE具有大量资源和@@@@ 32 位硬核处理器@@内核@@(ARM Cortex-M3)

的@@SmartFusion®2 SoC系列@@;

• 以及采用@@ 28 纳米工艺技术@@实现@@, 支持@@25K - 480K LE的@@高性能@@PolarFire™ FPGA 和@@ PolarFire™ SoC系列@@(Hard 5-Core RISC-V 600MHZ CPU)。

这三大系列@@@@FPGA除了具有抗干扰@@、低功耗@@、上电启动的@@特征外@@,还具有强大的@@@@DSP/数学模块@@(18x18乘法器@@),可用于当前热门的@@@@AI市场@@。

Microchip的@@这款@@Flash架构@@的@@@@FPGA最大的@@一个特点是电流密度@@小@@、抗干扰能力强@@、动态切换不会出现电流波动@@,基于@@其低功耗@@的@@特点@@,可大大延长产品使用寿命@@。非常适合应用在@@高可靠性@@@@、低失效率应用场合@@,能高效改善因电迁移@@引发的@@半导体@@失效问题@@。其授权代理商@@Excelpoint世健@@可提供技术@@支持@@和@@指导@@。

参考文献@@:
[1] J. R. Black, "Electromigration—A brief survey and some recent results," in IEEE Transactions on Electron Devices, vol. 16, no. 4, pp. 338-347, April 1969, doi: 10.1109/T-ED.1969.16754.
[2] 陶凯@@.先进分栅闪存器件集成制造的@@整合与@@优化@@[D].导师@@:邹世昌@@;孔蔚然@@.中国科学院研究生院@@(上海微系统与@@信息技术@@研究所@@),2007.
[3] 尹立孟@@,张新平@@.电子@@封装微互连中的@@电迁移@@@@[J].电子@@学报@@,2008,(08):1610-1614.
[4] S. Chatterjee, V. Sukharev and F. N. Najm, "Power Grid Electromigration Checking Using Physics-Based Models," in IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems, vol. 37, no. 7, pp. 1317-1330, July 2018

本文转载自@@:Excelpoint世健@@