随着电子@@器件在@@汽车和@@其他产品上的@@应用越来越广泛@@（智能化@@），芯片的@@集成度也越来越高@@、体形也越来越小@@、研发的@@难度也越来越高@@，这些器件通常具有线间距短@@、线细@@、集成度高@@、运算速度快@@、功耗低和@@高输入阻抗的@@特点@@@@，这也导致了这类器件对静电的@@要求越来越高@@。其中@@涉及到的@@标准为@@：ESD SP5.5.1-2004、ISO7637-2、GB/T.21437.2、ECER10.05 6.9、IEC62615:2010。
其中@@在@@很多器件的@@@@ESD性能@@，都会使用@@@@TLP 测试@@，除了使用@@标准的@@@@TLP脉冲@@发生器之外@@，还需要使用@@示波器@@对@@其脉冲@@进行测量@@。
TLP（Transmission Line Pulse）测试@@
又称为传输线脉冲@@测试@@@@，是于对静电防护半导体器件进行描述的@@一种常用方法@@。1985年由@@Maloney等@@人就提出的@@@@ESD模拟方法@@，与传统的@@@@HBM、MM、CDM、IEC模型不同@@，传输线脉冲@@发生器发出的@@是静电模拟方波@@，而传统模式发出的@@则@@是@@RC-LC模式的@@脉冲@@@@波形@@。
对于其他@@（CDM、HBM、MM等@@）的@@静电模型@@，在@@相同损伤能量下@@，TLP与各种静电模型均有近似的@@等@@效关系@@，同时考虑到上升沿的@@触发效应@@，因此@@，一般会使用@@相近的@@脉宽和@@上升沿进行等@@效@@，通过进一步的@@影响评估@@，即可确认合适的@@不同模型静电等@@效方波@@，通过方波测出上述曲线@@@@，即可用于该静电模型下的@@@@ESD防护设计仿真@@，利用@@测试@@波形结果@@中的@@开启@@-关断特性@@，即可知道器件在@@相应模型下的@@响应情况@@。而对于@@IEC、火花放电等@@两@@/三阶段模型则@@需要通过分阶段@@（如超快阶段和@@普通阶段@@）进行测试@@分析@@。
TLP的@@特点@@
■ 不模拟真实静电放电@@
■ 记录被测的@@故障等@@级@@和@@特性@@
■ Characterization/表征测试@@@@
换言之@@，TLP设备@@可模拟各种形式的@@@@ESD脉冲@@，在@@静电损伤和@@上升沿触发两方面都可以提供@@近似的@@模拟@@，因此@@，也可以认为两者是一致的@@@@。而在@@这种近似认同下@@，则@@TLP可以提供@@ESD过程中的@@@@IV、IT、VT三种不同的@@关键曲线@@@@，而这种曲线@@是其它模型所不能提供的@@@@。
需要注意的@@是@@：TLP脉冲@@式方波@@，与真实情况有一定的@@出入@@，虽然可以近似模拟@@，但总是会有一定的@@差别@@，完全采信@@TLP结果@@，可能会导致考核值@@与其它厂家的@@设备@@有一定的@@差异@@，更有甚者@@，由于芯片的@@电荷存储效应@@，不同厂家的@@@@ESD测试@@设备@@@@之间测试@@结果@@也有一定的@@差异@@；此外@@，TLP系统是超快脉冲@@@@，轻微的@@寄生即可导致波形畸变@@，多通道的@@@@TLP系统在@@实现上难度较大@@，因此@@，替换常规@@ESD测试@@设备@@@@的@@可行性较弱@@。
测试@@利用@@传输线产生的@@矩形短脉冲@@来测量@@ESD保护@@188足彩外围@@app 的@@电流@@@@-电压特性曲线@@的@@方法@@，通过将悬空电缆充电@@至预定电压并将其放电至被测器件@@@@（DUT）来生成方波@@。通过改变电缆长度和@@滤波器特性@@，很容易改变脉冲@@宽度和@@上升时间@@。
充电@@电压源@@（VHV）提供额定能量@@，给传输线@@（TL）充电@@，产生一个窄方波@@（75ns~200ns）当开关@@S闭合时@@，被测器件@@（DUT）接入传输线路@@，产生的@@窄方波被作用到@@DUT的@@保护@@结构上@@。通过示波器@@获取的@@测量值@@@@，再根据@@运算得到@@DUT两端的@@电压和@@电流@@值@@@@。
其中@@，我们会使用@@@@TLP发生器产生相关的@@脉冲@@@@信号@@，使用@@示波器@@对@@DUT的@@电压电流@@进行监控测试@@@@，测试@@配置参考下图@@。由于脉冲@@信号的@@脉宽非常窄@@，同时信号上升时间为@@ns级@@，所以我们需要配置@@合适的@@示波器@@和@@相应的@@探头进行测试@@@@，根据@@IEC61000-4-2给出的@@说明@@，这里我们需要配置@@@@1GHz测量带宽@@的@@示波器@@和@@探头@@。
而对于@@VF-TLP测试@@对信号的@@要求更高@@，此时我们需要配置@@衰减器@@，高带宽@@的@@短电缆@@，和@@高带宽@@的@@示波器@@去完成相应的@@测试@@@@，测试@@仪器的@@带宽@@甚至要求达到@@20GHz左右@@。关于@@TLP的@@测试@@简单介绍到这里@@，以下是各个@@ESD模型的@@经验对比值@@@@：
TLP的@@It2*1500Ω=HBM值@@
MM*(9~10)=HBM
IEC+(1.3k~2k)=HBM
当然这个经验值@@有时是值@@得商榷的@@@@。
具体的@@测试@@步骤可以参考以下说明@@：
1. 使用@@TLP pulser发出脉冲@@@@，使用@@示波器@@和@@对应的@@探头@@、测试@@线缆@@、衰减器等@@测试@@@@DUT端对应的@@电压电流@@@@，描绘响应的@@曲线@@@@。TLP Pulser打出指定电压@@V1的@@脉冲@@@@，示波器@@记录下电流@@@@I1。
2. 将测试@@线缆@@切换到@@SMU上测试@@@@DUT对应的@@漏电流@@@@。利用@@IFIM（Force I Measure I）功能@@，Force电流@@I1，测量得到@@Leakage1。
3. 重复上述步骤@@，描绘对应的@@曲线@@@@，直至得到漏电流@@偏折点@@。
小结@@
综上所述@@，在@@TLP测试@@时@@，我们需要配置@@TLP的@@脉冲@@@@发生器去生成对应的@@脉冲@@@@@@，而测试@@设备@@@@我们根据@@实际需求去进行搭配@@，里面会使用@@到的@@设备@@有@@：
a）Tektronix示波器@@，推荐使用@@@@MSO5/6示波器@@b）对应的@@测试@@探头或@@者@@衰减器和@@测试@@线缆@@等@@@@
（以上设备@@用于测试@@@@DUT上加载的@@脉冲@@@@信号的@@电压电流@@@@，对应的@@带宽@@采样率需求根据@@@@TLP测试@@加载的@@脉冲@@@@信号选择@@，>1GHz带宽@@，3GS/s以上的@@采样率@@，测试@@绘制对应的@@@@IV曲线@@） c）Keithley的@@仪器@@，SMU和@@6485测试@@设备@@@@
SMU为测试@@提供偏置电压@@，加载电流@@@@
漏流测试@@根据@@信号大小@@，推荐选择@@2450或@@者@@6485等@@测试@@设@@
文章来源@@：泰克科技@@