MEMS

压电@@MEMS兰姆波器件技术@@最新进展与展望@@

博文重点介绍了基于@@不同材料平台的@@5G通信和物联网@@@@(IoT)用兰姆波器件的最新进展@@,并对该技术@@未来发展趋势进行了展望@@。

知微传感发布@@MEMS激光雷达核心组件扫描模组新成员@@:P1150

该系列产品将传统导航激光雷达中的旋转装置芯片化@@,具有高分辨率@@、高可靠性@@、低成本@@、小尺寸@@、易集成等优势@@,主要应用于激光雷达@@、激光打印以及机器视觉等领域@@。

基于@@MEMS焦平面开关阵列的硅光子激光雷达@@

这项研究采用搭载了单片集成@@128 × 128像素@@MEMS FPSA(引线键合@@128 × 96子阵列@@,并经过了实验测试@@)的硅光子调频连续波@@(FMCW)成像激光雷达@@,最终分辨率达到@@16384像素@@。