气体传感器@@@@

MEMS气体传感器@@@@的设计与工艺@@

MEMS技术的进步@@,为气体传感器@@@@的集成化提供了坚实的基础@@,毋庸置疑@@,基于@@MEMS的设计方案将成为未来气体传感器@@@@的主要发展方向之一@@。目前@@,市场上以单晶硅材料为衬底@@,非硅材料为敏感层的@@MEMS气体传感器@@@@最为常见@@,今天就给大家介绍一下市场上常见的@@MEMS气体传感器@@@@类型@@。